光刻機:冷卻激光光源和光學元件,防止熱膨脹導致的光路偏移(如ASML的EUV光刻機)。
蝕刻/離子注入機:控制反應腔體溫度,確保工藝均勻性。
2、高功率電子元件冷卻
IGBT(絕緣柵雙極晶體管):用于電動汽車動力系統,通過冷板降低模塊溫度,減少溫度梯度。
CPU/GPU:輔助冷卻高功率芯片,防止過熱損壞。
3、醫(yī)療與實驗室設備
便攜式藥品冷藏:利用半導體冷板的制冷功能,實現低溫存儲。
實驗室儀器:如精密分析設備,需穩(wěn)定溫度環(huán)境以確保數據準確性。

4、航空航天與汽車電子
航空電子設備:在*端溫度環(huán)境下保持設備正常運行。
汽車新能源:冷卻電池管理系統或高功率電子驅動器。